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    4"蒸鍍外觀

    晶背減薄
    矽晶圓(SI)減薄至50µm
    矽基氮化鎵(GaN ON SI)減薄至75µm
    碳化矽(SiC)減薄至150µm
    晶片平坦度 ≤ 10µm

    金屬蒸鍍沉積
    蒸鍍金屬包含:鈦,鎳,銀,錫,銅,鋁
    金屬厚度可達35µm
    厚度均勻性: ±10%
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    6"蒸鍍外觀

    晶背減薄
    矽晶圓(SI)減薄至50µm
    矽基氮化鎵(GaN ON SI)減薄至75µm
    碳化矽(SiC)減薄至150µm
    晶片平坦度 ≤ 10µm

    金屬蒸鍍沉積
    蒸鍍金屬包含:鈦,鎳,銀,錫,銅,鋁
    金屬厚度可達35µm
    厚度均勻性: ±10%
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    8霧面.jpg

    8"蒸鍍外觀

    晶背減薄
    矽晶圓(SI)減薄至50µm
    矽基氮化鎵(GaN ON SI)減薄至75µm
    碳化矽(SiC)減薄至150µm
    晶片平坦度 ≤ 10µm

    金屬蒸鍍沉積
    蒸鍍金屬包含:鈦,鎳,銀,錫,銅,鋁
    金屬厚度可達35µm
    厚度均勻性: ±10%
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    12"蒸鍍外觀

    晶背減薄
    矽晶圓(SI)減薄至50µm
    矽基氮化鎵(GaN ON SI)減薄至75µm
    碳化矽(SiC)減薄至150µm
    晶片平坦度 ≤ 10µm

    金屬蒸鍍沉積
    蒸鍍金屬包含:鈦,鎳,銀,錫,銅,鋁
    金屬厚度可達35µm
    厚度均勻性: ±10%